主仕様 ・温度 900℃〜1050℃ ・治具 カーボン製・雰囲気 N₂
主仕様 ・温度 高温部 900℃〜1050℃:低温部 500℃〜700℃ ・治具 カーボン製・雰囲気 N₂
主仕様 ・治具 金属製・温度 700℃〜850℃ ・温度制御 8〜9zone